雙軸晶圓切割機為12英寸全自動動精密劃片機,采用高精密進口主要配件,T軸采用DD馬達,重復精度1μm,穩(wěn)定性極強
采用進口研磨級超高精密滾珠絲+松下伺服電機A6系列,精度高,耐用性久,穩(wěn)定性高,超高直線度,實測0.9um采用進口研磨級超高精密滾珠絲杠,定位精度可達2μm